NF5系列NanoFlex位移台

• 差动测微驱动；

• 开环与闭环压电选项；

• 5毫米行程；

• 紧凑尺寸：3.00 英寸（75 毫米）正方形，1.18 英寸（30 毫米）厚；

• XYZ可配置；

• 所有电缆均已包含；

        当稳定性至关重要时，NanoFlex™ 5毫米行程单轴复合柔性平台可提供超平稳的平移运动，适用于对线性轴承固有误差无法容忍的应用场合。复合线性柔性设计确保在整个平移范围内实现真正的直线运动。这一点的实现无需使用需要保持受控接触才能正常工作的部件；所有运动均源自译码器内各结构部件的弯曲变形。这些特点即使在恶劣环境中使用，也能提供毫不妥协的性能。

        该平台配备差动测微计驱动装置，可实现粗调和精调。还可选配压电驱动装置，支持闭环或开环操作，且可搭配应变片反馈。NF5系列平台适用于多种应用，包括干涉测量、显微镜及其他精密纳米定位应用。NanoFlex™平台提供的额外稳定性使其适用于在XY、XZ和XYZ配置中进行堆叠，这些配置需要精确的平面运动。底板NF5P1（/M）和角支架NF5P2（/M）可供选用，以实现这些平台的堆叠安装。